水是大多數(shù)生命形式中的資源之一，在地球上非常豐富。對于大多數(shù)工業(yè)應(yīng)用來說，水被認(rèn)為是一種污染物，需要大量的精力和工程，來減少水。
　　任何濕度測量的基本目標(biāo)是確定某種介質(zhì)或過程中水蒸氣（即氣體）的量。濕度測量可以涵蓋從十億分之一到*飽和的蒸汽的廣泛動態(tài)范圍，該范圍是10到9的冪的令人印象深刻的動態(tài)范圍。微量水分是指少量水蒸氣的測量，通常在百萬分之幾的范圍內(nèi)。
　　痕量水分測量的常見應(yīng)用是壓縮空氣。壓縮空氣通常被稱為第四實(shí)用程序，可用于電動工具，噴漆房，重型機(jī)械操作等。當(dāng)壓縮空氣管線中水過多時(shí)，可能會發(fā)生一些問題，例如腐蝕，結(jié)冰，并損壞設(shè)備。
　　微量水分測量對于處理氮?dú)饣蚱渌呒兌葰怏w的應(yīng)用也至關(guān)重要。氫冷發(fā)電機(jī)須有非常干燥的氣體，以防止任何潛在的火花和爆炸。電力變壓器在絕緣油的頂部需要一個(gè)加壓的氮?dú)鈱?。所有這些應(yīng)用都需要仔細(xì)而準(zhǔn)確地測量水含量。
　　有幾種測量微量水分的方法。氧化鋁傳感器被認(rèn)為是行業(yè)的主力軍，它們制造起來相對簡單，涵蓋了從-100到+20oC露點(diǎn)的各種測量范圍。氧化鋁傳感器在多孔氧化鋁層的頂部沉積有一層金膜，該金膜吸收其中的水蒸氣。中央鋁芯和金膜形成一個(gè)2位電容器，其中電介質(zhì)是氧化物層，被電介質(zhì)吸收的水與傳感器周圍氣體的水分含量直接相關(guān)。
　　盡管氧化鋁傳感器用途廣泛，但并不美。其缺點(diǎn)包括干燥時(shí)間和準(zhǔn)確性。如果傳感器的氧化膜*被水浸透，并且是在干凈，干燥的空氣中引入的，則可能需要花費(fèi)大量時(shí)間（長達(dá)幾個(gè)小時(shí)）才能使水“變干”，傳感器才能準(zhǔn)確記錄下過程的真實(shí)露點(diǎn)。干燥時(shí)間取決于幾個(gè)因素，例如流速和管線壓力。
　　氧化鋁傳感器的精度約為±1oC至2oC，因此通常不用于高精度應(yīng)用。每當(dāng)需要更高的精度時(shí)，建議使用其他技術(shù)，例如冷鏡式露點(diǎn)儀。
　　氧化鋁傳感器依靠將電容與露點(diǎn)相關(guān)聯(lián)來間接測量露點(diǎn)，而冷鏡式露點(diǎn)儀直接測量露點(diǎn)。冷鏡式露點(diǎn)儀使用反射表面將其冷卻至露水開始形成的確切溫度，并使用光源對其進(jìn)行檢測。通過控制該鏡面表面的溫度，可以確定被測氣體的確切露點(diǎn)溫度。這種方法可產(chǎn)生令人印象深刻的精度，約為±0.1oC或更高，這使其成為測量痕量水分的準(zhǔn)確方法。
　　冷凍鏡濕度計(jì)需要清潔的氣體樣本，低壓和其他一些要求。大多數(shù)應(yīng)用程序包括實(shí)驗(yàn)室和研發(fā)公司?？烧{(diào)諧二極管激光吸收光譜是一項(xiàng)新開發(fā)的技術(shù)，它提供了一種無漂移的方法來測量痕量水分，而幾乎沒有干燥時(shí)間。
　　存在許多測量痕量水分的方法。沒有哪一種方法是美的，好的方法取決于應(yīng)用程序。新技術(shù)不斷發(fā)展，每種技術(shù)都有其自身的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。